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经营异常 有限责任公司(自然人投资或控股) 成立历史第

一种晶圆级微镜、光学窗口以及其制造方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-072-5456-7848
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G02B26/08;G02B1/14;G02B1/11;B81C1/00;B81B7/02;B81B7/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一种晶圆级微镜、光学窗口以及其制造方法。所述微镜包括:微镜镜体,所述微镜镜体包含一层或多层单晶硅器件层;光学框架,所述光学框架的一个主面与所述器件层键合;所述光学框架还包含光学窗口,所述光学窗口为凸窗结构,且具有第一倾斜面,所述第一倾斜面与所述光学框架的主面具有一夹角。
附件下载:  (原始资料备查)

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