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经营异常 有限责任公司(自然人投资或控股) 成立历史第

一种静电驱动式微镜及其制作方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-127-3929-3636
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G02B26/08;G02B26/10类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一种静电驱动式微镜,包括依次设置的器件结构层、二氧化硅层和基底层,所述基底层朝向所述器件层的一侧具有背腔,所述背腔内设有至少一个台阶结构,所述器件层包括固定框架、可动结构和固定锚点,所述固定框架具有镂空区域,所述可动结构和所述固定锚点位于所述镂空区域内,所述可动结构与所述固定锚点相连;所述台阶结构具有平行于所述器件层的第一台阶面,所述可动结构具有平板梁,所述平板梁在所述基底层的投影与所述第一台阶面部分重叠。该发明微镜采用背腔台阶结构,能够增大微镜的驱动力,且制作方法简单,缩短生产时间,提高生产效率。
附件下载:  (原始资料备查)

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