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专利信息

一种电磁MEMS微镜及制备方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-072-4059-9216
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G02B26/08;B81C1/00;B81B7/02类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及微机电系统技术领域,具体涉及一种电磁MEMS微镜及制备方法；由MEMS结构部与线圈部组成,电磁MEMS微镜在工作时被安置在底座上,且与底座粘接,并设置在固定磁场中,MEMS结构部包括至少一层由单晶硅制成的器件结构层,器件结构层包括可动镜面、第一扭转轴、第二扭转轴、可动框架、固定框架和金属层,线圈部在通入交变电流后驱动可动镜面和可动框架分别以第一扭转轴和第二扭转轴为轴产生扭转,可动镜面相对固定框架进行二维运动,改进振镜的结构,通过设置多层线圈堆叠,显著增大线圈匝数,有效增大驱动力,单位长度的线圈线径大,整体电阻小,也即使得工作时的热功耗小。
附件下载：  (原始资料备查)

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