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一种具有镜面振幅放大功能的微镜【异议或纠错】

档案编号: CQ-072-5072-3775
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G02B26/08类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及一种具有镜面振幅放大功能的微镜,包括依次设置的衬底层、掩埋层和器件层,器件层上设置有镜面、至少一个弹性件和至少一个驱动结构,镜面通过弹性件与驱动结构相连;驱动结构包括驱动板,驱动板上设置有多个刻蚀通孔,刻蚀通孔用于减小驱动板运动时的空气阻尼。本发明提供的具有镜面振幅放大功能的微镜可实现更大的镜面偏转幅度,其主要功能性结构适用于各种驱动方式的微镜。
附件下载:  (原始资料备查)

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