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一种砷化镓基LED管芯的制作方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-080-1918-8047
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L33/00;H01L21/683;H01L21/304;H01L21/67;H01L33/36类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及一种砷化镓基LED管芯的制作方法。该方法包括采用电流扩展层—P面电极—减薄—N面电极—切割的制作流程,其中在N面电极制作前将完成P面制作的晶片正面贴附上热解膜,N面电极完成后将热解膜去除,然后进行快速切割。本发明既避免使用切割保护液,又在切割时不会对芯片电极产生破坏,降低整体作业成本。
附件下载:  (原始资料备查)

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