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一种具有创新电互连结构的微镜装置及制作方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-102-3372-8686
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G02B26/08类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种具有创新电互连结构的微镜装置及制作方法,包括框架、连接装置、电互连装置、电隔离装置和镜面,所述框架包括第一框架和第二框架,所述第一框架与第二框架通过连接装置活动连接,所述电隔离装置将所述框架划分为多个电隔离区间,所述电互连装置的端部位于不同的电隔离区间内,所述镜面活动设置于所述第一框架中;所述框架上包括电互连结构包括介质层和金属线,所述介质层和金属线堆叠排布在所述框架上,所述介质层为硅氧化物薄膜或硅氮化物薄膜,所述金属线材料为金,所述整体部件主要由刻蚀工艺形成,具有工作效率高,工艺稳定性高,可重复性好,生产成本低,易于进行大批量生产等优点。
附件下载:  (原始资料备查)

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