重庆中科渝芯电子有限公司 访客留言 申请认证

信用网址: 17317042.11315.com   

有限责任公司 成立历史第15 

模拟BiCMOS工艺高应力边缘效应优化集成方法和高线性双多晶电容器【异议或纠错】

档案编号: CQ-128-4655-0602
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/8238;H01L23/522;H01L27/092类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开模拟BiCMOS工艺高应力边缘效应优化集成方法和高线性双多晶电容器,步骤包括:1)在N型阱表面的场氧化层上方淀积P1埃米的多晶电容器下极板多晶膜层,并完成N型光刻注入掺杂;2)淀积d1埃米的双多晶电容器第一层介质,并采用曝光刻蚀工艺完成双多晶电容器下电极边缘保护膜层的制作;3)淀积d2埃米的多晶电容器介质复合膜层,并采用曝光刻蚀工艺完成电容介质层结构制作;高线性双多晶电容器包括衬底、N型埋层、P型埋层、外延层、N型阱、自对准P型阱等。本发明通过在模拟集成电路可集成高线性双多晶电容器高应力边缘效应优化技术方案,显著改善了双多晶电容器的边缘效应。
附件下载:  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论,请 登录注册

打分

说明:
一、所有信息力求客观、真实:以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会(社团组织)、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者(包括交易对方、员工等)客观提供,不含有本征信平台的任何主观评价;
二、信息异议机制:欢迎大家对有异议的信息及时提出,我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正,确保客观、公平;
三、尊重发布者权益,永不"删贴":对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息,都将客观记录于企业信用档案,参与信用分值计算,并长期保存。

分享到:
绿盾在线
×
=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315