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经营异常 有限责任公司(自然人投资或控股) 成立历史第

一种晶圆级光学系统及应用其的激光微型投影设备【异议或纠错】

档案编号: CQ-140-5940-9651
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G02B3/00;G02B26/08;G02B27/09类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一种晶圆级光学系统及应用其的激光微型投影设备,所述光学系统包括空间晶圆构成的光学框架结构和光学晶圆结构;所述空间晶圆构成的光学框架结构为多个半导体晶圆通过半导体加工技术堆叠形成的支撑结构,用于支撑所述光学晶圆结构;所述光学晶圆结构与所述空间晶圆构成的光学框架结构键合;所述光学晶圆结构包括与所述空间晶圆键合的光学晶圆本体,以及在所述光学晶圆表面形成的光学结构。
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