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一种共焦划痕在线检测方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-699-8580-6285
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01B11/02(2006.01);G01B11/22(2006.01);类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种共焦划痕在线检测方法,其中,将共焦位移计测头安装在音圈电机驱动滑台上,使用音圈电机驱动滑台带动共焦位移计测头对被检测物体表面进行高度方向数据扫描测量;将音圈电机驱动滑台的移动坐标,按照预设的固定间距对应每个共焦位移计测头测量的高度值,将此两数值一一对应绘制出扫描物体的表面二维轮廓;在二维轮廓曲线上,通过图形抽取,找出呈三角形的轮廓曲线,三角形底边长度为划痕宽度,三角形底边高度为划痕深度。本发明提供的一种共焦划痕在线检测方法,相比传统视觉检测可以检测更浅的划痕,最小可以检测划痕0.005mm深,0.05宽。
附件下载:  (原始资料备查)

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