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水膜厚度测量仪【异议或纠错】

档案编号: CQ-699-8580-6307
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01B11/06(2006.01);类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种水膜厚度测量仪,其中,包括安装框架,所述安装框架内设置共焦位移计测头,所述共焦位移计测头的上方设置参考玻璃,所述共焦位移计测头的下方设置XY检测基准台面。本发明提供的水膜厚度测量仪,解决了从1微米到1000微米更大范围内水膜厚度的测量。
附件下载:  (原始资料备查)

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