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2D共焦位移传感器【异议或纠错】

档案编号: CQ-699-8580-6328
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01B11/24(2006.01);G01B11/02(2006.01);类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种2D共焦位移传感器,共焦位移传感器的测头的聚焦部和色散部做成两节,聚焦部和色散部交叉安装,在聚焦部和色散部的中间安装MEMS微镜片震动系统。MEMS微镜片震动系统包括MEMS微镜片和控制MEMS微镜片的单片机。本发明提供的一种2D共焦位移传感器,提升了原单点位移传感器可以测量应用的范围,可以在不要其他运动的机构的前体下实现2D形貌数据的测量,依靠单独一个光路一块光谱仪检测,比用多光、多路光谱检测实现的成本更低,结构更紧凑小巧。
附件下载:  (原始资料备查)

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