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3D轮廓在线测量仪【异议或纠错】

档案编号: CQ-699-8580-6331
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01B11/24(2006.01);类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种3D轮廓在线测量仪,包括共焦位移计测头和压电线性驱动器,将共焦位移计测头安装在压电线性驱动台上。共焦位移计测头通过连接板安装在生产加工设备的检测工位上面,当样品移动到共焦位移计测头下面时,给共焦位移计控制器测量信号,压电线性驱动台带动共焦位移计测头往复运动扫描2D轮廓,最终绘制3D轮廓。本发明提供的3D轮廓在线测量仪,采用非接触式测量,不受样品表面软硬质地影响,不会对样品造成任何划伤。比干涉法测量高度变化值有更优秀的角度特性,测量镜面表面可以达到±25°到±45°左右,测量漫反射表面可以达到最高87°的范围。
附件下载:  (原始资料备查)

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